FOUP, 12inch Process Carrier, 25 slots / 12ÀÎÄ¡ ¿þÀÌÆÛ ÇÁ·Î¼¼½º Äɸ®¾î
¡á SEMI / FIMS Compliant
¡á Front Opening Unified Pod (FOUP)
¡á ¹ÝµµÃ¼ »ý»ê¾÷ü °øÁ¤ ¶óÀο¡¼ »ç¿ëµÇ´Â ij¸®¾î ¹Ú½ºÀÓ
¡á Automatic opening and closing
¡á Ultrapure, low outgassing materials protect wafers
¡á ESDó¸®µÈ 12inch Process Carrier
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¡á µµ¾î ºÐÇØ ¾øÀÌ Ã»¼Ò °¡´É
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¡á EPAK
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